5奈米制程 (英語: 5 nm process) 是半導體製造制程的一个水平。佇半導體企件製造中,國際氣件佮系統路線圖共5奈米工藝定義做7奈米後的MOSFET技術節點。相用5奈米制重技維具有FinFET的刀卡極電晶體 (MuGFET) 技術。猶閣有已經政盟的5奈米GAAFET技術,毋過猶未相業化。 2020年初,三星電子佮台積澱已經開始5奈米制程的有限方險試產,閣界衛佇2020年底開始批量生產。 2020年9月15,由台積澱製造的Apple A14 Bionic成做第一个公開發表的5奈米制程晶片。